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如何提高試樣在掃描電鏡樣品臺上的穩定性

發布日期: 2020-08-21
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  掃描電鏡是失效機理分析的重要手段,二次電子成像可以直接觀察斷裂類型和斷裂源。從(準)解理斷裂、韌窩斷裂以及其他顯微斷口特征形貌可以推斷失效是否來源于晶界缺陷、夾雜物以及氫致裂紋(HIC),所以,掃描電鏡在高質量等級品種鋼開發的過程中扮演著重要的角色。掃描電鏡樣品臺為圓形,靠馬達帶動可以實現X、Y、Z向的步進式移動以及轉動。失效分析試樣的種類繁多,形狀各異,單純依靠導電雙面膠將試樣固定在樣品臺上,固定不牢,因為導電雙面膠與試樣和樣品臺的粘合度不高,在樣品臺移動過程中,樣品易脫落,對掃描電鏡分析造成諸多不便。
  提供一種用于掃描電鏡樣品臺上的試樣固定裝置,其結構合理,操作簡便,固定試樣的穩定性好,可以確保試樣在樣品臺移動過程中保持靜止不動,簡化試樣的準備程序,方便對試樣進行掃描電鏡分析。本實用新型的目的是這樣實現的一種用于掃描電鏡樣品臺上的試樣固定裝置,在中心基座的下端固接著試樣夾持爪,在中心基座的周邊上均布固接著呈放射狀的夾緊彈片,在每只夾緊彈片的外端部分別固接著彈圈限位桿,彈圈限位桿由相互呈90°折彎的水平桿和垂直桿構成,每只夾緊彈片的外端部分別固接著每只彈圈限位桿的水平桿,每只彈圈限位桿的垂直桿外端部分別均布固接在具有開口的固定彈圈上。本實用新型由固定彈圈、彈圈限位桿、夾緊彈片及其端部試樣夾持爪組成,試樣夾持爪由條弧形彈片組成,彈片末端連線形狀為圓形,夾緊試樣時,試樣夾持爪彈片張開,對于任何形狀、尤其是薄片狀試樣可以實現牢固夾緊。掃描電鏡樣品臺為圓柱體,固定彈圈開口,使其能夠張緊套在樣品臺上,結合彈圈限位桿,實現試樣固定裝置與樣品臺的緊密配合和固定。夾緊彈片固定在彈圈限位桿上,在自由狀態時匯聚在一起,匯聚點投影落在樣品臺中心。夾緊彈片端部為試樣夾持爪,試樣夾持爪所用材料同樣是彈性的,可以實現夾持爪與試樣的大面積穩定接觸和夾緊。在掃描電鏡實驗開始前放置試樣時,首先將試樣固定裝置加裝在樣品臺上,然后將夾緊彈片掰開,放入試樣后放手,實現試樣的夾緊。節省了導電膠等掃描電鏡耗材,簡化了試樣準備流程,提高了試樣穩定性,減少了試樣掉落的潛在風險。本實用新型結構合理,操作簡便,固定試樣的穩定性好,確保了試樣在樣品臺移動過程中保持靜止不動,簡化了試樣的準備程序,方便了對試樣進行掃描電鏡分析。
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