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介紹透射電鏡塊體樣品的制備方法

發布日期: 2021-10-22
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  透射電鏡是一種高分辨率、高放大倍數的顯微鏡,是材料科學研究的重要手段,能提供極微細材料的組織結構、晶體結構和化學成分等方面的信息。透射電鏡的分辨率為0.1~0.2nm,放大倍數為幾萬~幾十萬倍。
  透射電鏡樣品制備要求
  透射電鏡制樣原則:
 ?、俸唵?。
 ?、诓黄茐臉悠繁砻?,如:避免磨樣過程中產生的位錯及離子減薄過程中產生的非晶現象等。
 ?、郾M可能獲得大的薄區。
  透射電鏡樣品要求:
 ?、賹﹄娮邮该?電子束穿透固體樣品的厚度主要取決于:加速電壓和樣品原子序數)。
 ?、诠腆w、干燥、無油、無磁性。
  透射電鏡塊體樣品的制備方法:
  1、離子減薄
  特點:不受材料電性能的影響,即不管材料是否導電,金屬或非金屬或者二者混合物,不管材料結構多復雜均可用此方法制備薄膜。
 ?、贅悠凡眉簦簩⑼干潆婄R樣品沖壓成直徑3mm的圓片。
 ?、谘心伖猓簩⑼干潆婄R樣品圓片用手動研磨盤手動研磨至厚度低于80微米的圓片。
 ?、郯伎樱喊伎觾x單面凹坑至圓片ZX厚度為10-30微米。
 ?、茈x子減?。涸O置好離子槍角度、減薄時間、加速電壓將樣品減薄至出現足夠薄區。
  2、電解雙噴
  特點:受材料電性能的影響,只能用于金屬樣品,并且耗時短成本低。
 ?、贅悠凡眉簦簩⑼干潆婄R樣品沖壓成直徑3mm的圓片。
 ?、谘心伖猓簩⑼干潆婄R樣品圓片用手動研磨盤手動研磨至厚度低于100微米的圓片。
 ?、郯伎樱喊伎觾x單面凹坑至圓片ZX厚度為10-30微米。
 ?、茈娊怆p噴:設置好電解液、電壓、溫度將樣品減薄至出現足夠薄區。
  
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