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如何評定掃描電鏡是否達到分辨率要求?

發布日期: 2021-09-01
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  標樣為碳臺上的鍍金顆粒,這種標樣的優點如下:碳與金的原子序數相差大,標樣木身的自然襯度高,便于掃描電鏡選擇小束斑進行高分辨成像;標樣導電導熱性能好,在電子束穩定;金顆粒尺寸2nm~30nm,適用于放大倍數5萬倍以上的圖像。
  另外一種標樣是碳臺上的錫球,樣品自然襯度高;比金顆粒更耐電子束輻照,高倍時在某一個部位反復消像散和聚焦,錫球不會污染變黑;錫球尺寸3nm~30um,這樣寬的尺寸范圍適用于放大倍率從低到高校準儀器,圓球便于消除像散。通??梢园堰@兩個標樣同時放入掃描電鏡,先利用錫球調整儀器,再用金顆粒拍分辨率照片。
  掃描電鏡分辨率評定:
  分辨率照片為金顆粒的二次電子像,拍攝條件各公司略有不同,場發射掃描電鏡放大倍率選20萬倍或30萬倍;加速電壓15kV~30kV;工作距離2mm~5mm。對于常規掃描電鏡放大倍率只選10萬倍。金顆粒圖像邊緣要清晰,沒有明顯像散。
  如何評定是否達到分辨率要求?(例如場發射電鏡為1nm,常規電鏡為3nm)有幾種方法:傳統方法是在光學比長儀或讀數顯微鏡下測量照片上兩個Z近顆粒的間距,除以圖像放大倍率?,F在掃描電鏡有尺度測量功能,在圖像上直接測量顆粒大小或者兩個Z近顆粒的間距,這兩種方法均會引入操作者的瞄準誤差,測試結果有時會有爭議;有的掃描電鏡具備分辨率檢測功能,利用圖像分析程序自動給出顆粒的小間距,如果嚴格要求,分辨率測定應該在圖像的三個同方向上均予滿足。
  分辨率檢測還有低加速電壓的規定,場發射掃描電鏡在1kV、20萬倍或10萬倍下拍照,分辨率指標為2nm;常規掃描電鏡在3kV、5萬倍下拍照,分辨率要求5nm。
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